Im Projekt „HighSens“ werden neuartige ultradünne Zirkonoxid-Folien zur Entwicklung von elektromechanischen Sensoren verwendet. Die geringe Stärke von weniger als der Hälfte der Dicke eines Blatt Papiers ermöglicht erstmals den Aufbau von membranbasierten Sensoren aus dem keramischen Material, das dafür entwickelt wird.
Aus diesen Folien werden in Mehrlagentechnologie Drucksensoren aufgebaut.Die derzeit gängige Methode zur Herstellung von mikrostrukturierten keramischen Membranen ist die LTCC-Technologie (Low Temperature Cofired Ceramics), die jedoch ab ca. 400°C an ihre Grenzen stößt. Für dauerhaft stabile Messungen im Hochtemperaturbereich, wie sie häufig in industriellen Anwendungen notwendig sind, ermöglicht die neue Technologie die Realisierung von neuartigen hochtemperaturgeeigneten Sensoren. Zusätzlich werden durch die drahtlose Auslesung des Sensorsignals temperaturkritische elektrische Anbindungen vermieden.
Anbei finden Sie den Link zur Pressemitteilung des Finanz- und Heimatministeriums
Die Mitteilung zum Projekt „HighSens“ finden Sie auf Seite 3.
